序号

项目 名称

建设 地点

建设 单位

环评 单位

项目概况 

主要环境影响及对策和措施

公众参与情况

1

12英寸闪存芯片项目变更

西安市高新区

三星（中国）半导体有限公司

中国电子工程设计院、陕西中圣环境科技发展有限公司

三星（中国）半导体有限公司12英寸闪存芯片项目位于西安高新区西太路以西约800米，潏河以北约500米，北临南横线。项目月产12英寸闪存芯片约7万片，工艺加工线宽10nm级。2012年5月29日我厅以陕环批复〔2012〕298号对项目的环境影响报告书进行了批复。变更后项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺均无变化。项目变更主要内容如下：总征地面积1140242 m² （-19351 m²）；本期总用地面积447700 m² （+3000 m²）；总建筑面积363739.97m²（-10958.03 m²）。取消化学品库2、服务楼，增加停车雨棚，细化废水处理站设计、增加地下部分等。设计校核后，生产运行天数由330d/a变更为365d/a，增加35 天（计840小时）。 主要原辅材料：原为136种，变更后删除4种、新增7种（2种气体，主要成分分别为乙硼烷、全氟烃（C₄F₁₂）），年用量合计1.725吨；2种酸碱液体，主要成分分别为磷酸、氨，年用量合计4824吨；3种电镀液，主要成分为硫酸铜，年用量合计0.89吨）。变更后主要原辅材料共为139种。其他132种原辅材料中，有67种年用量不变，16种年用量减少，49种年用量增加。变更后气体、液体原辅材料年用量统计为93842.606吨（+21252.410吨）、38537.104立方米（+36885.557立方米）。

辅助及公用工程使用的试剂材料：变更后补充试剂材料21种，主要用于三废处理、超纯水制备、冷却水杀菌和锅炉除垢等，年用量合计277361t/a，主要为浓度1%到96%的各类酸溶液、碱溶液、盐溶液、有机溶液和有机聚合物固体等。                                                                         

总用电230000万kWh/a（+112568万kWh/a）；自来水22671 m³/d （+768 m³/d）；天然气7273 Nm³/h（+2931 Nm3/h）。

冷却塔减少3台；循环冷却水泵减少28台。设计校核后供热方案为：工艺用热与生活采暖用蒸汽由市政提供，工艺加湿用蒸汽由自建燃气锅炉提供，设计校核了本项目工艺加湿用蒸汽需求，并兼顾后期项目需求，增加了自建锅炉的规模，燃气锅炉变更为“3台30t/h（2用1备）”；同时设计新增2台40t/h的市政供热备用燃气锅炉，在市政供给的蒸汽中断或压力不足时使用，其中1台由于设备维护需要将定期运行，1次/2周、每次4h，计104h/a。

变更后，在活性炭处理装置前增设湿式淋洗塔，污染物去除效率由90%提高到92%；臭气排气筒高度由15米调整为23米，废气每小时换气次数由变更前3次增加到变更后的7次，废气量由120000m³/h调整为330000m³/h。工艺废气排气筒个数由30用12备变更为44用14备。 变更后系统处理装置套数增加，废气及污染物排放量增加1247500m³/h（由3045000m3/h增加至4292500m³/h），生产工艺废气排放量增加约40%。

油烟废气收集并经油烟净化器处理后，经专门排烟管道引至所在建筑楼顶排放，排气筒高度由15米调整为23.5米，其余不变。

变更重新核对了废水及其污染物的产生、排放量，主要变更为：增加了全厂未预见用水排水量757m³/d；废水处理系统能力增大；调整部分废水处理工艺以及废水处理流向，废水总排放量增加148m³/d（由原来的11811m³/d增加至11959m³/d）；废水回用率由原来的40%增至55.4%，增加的回用量用于水处理设备的反冲洗。

处理流程进行了调整，酸性废水处理系统出水由“直接排入回用水处理系统”变更为“先排入碱性废水处理系统后再排入回用水处理系统”。回用水处理系统排水由“排入有机废水处理系统”变更为“先排入含氨含氟废水处理系统处理后再排入有机废水处理系统”。

变更后补充增加：隔油池在处理厂区雨水过程中产生的油渣和干法刻蚀金属、热氧化等生产过程中产生的石英粉尘（+4t/a）。

新增危险废物主要来自污水处理站污泥（约占危险废物总量的68%）、废有机溶剂、硫酸废液等各种废液（约占危险废物总量的30%）、废矿物油、废空桶等危险废物（约占危险废物总量的2%）。

变更后项目所产生的固体废物委托相关单位处理处置。项目在厂区设置了3个工业固体废物收集贮存设施，均为库房结构并分区建设。

变更后重新核对了生产废气及其污染物的产生、排放量，局部调整了废气处理方案。主要变更为：

FAB厂房废气排放及治理措施：工艺废气排放系统由5类变更为4类（将原HF废气G2、HCl废气G3合并处理，变为G2含氟含氯酸性废气处理系统）。

增加GCS 厂房废气排放及治理措施：新增G5酸碱废气处理系统和G6可燃性废气（含有机废气）处理系统。收集GCS 厂房储存配送废气，气体站、化学品库、一般仓库、废水处理站、动力站及FAB厂房化学品储存配送区的废气均纳入该系统处理。

    变更后所有锅炉均选用低氮燃烧器。与原环评报告相对比，变更后SO₂、NO₂、PM₁₀、HCl预测结果最大值均增大，其余污染因子预测结果最大值较原环评报告减小。非正常情况时，各类污染物落地浓度虽有所升高，但仍能满足《环境空气质量标准》（GB3095-1996）二级标准要求。

    在采取合理的废水污染防治措施后，总排口水质能满足《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中二级标准限值要求；特征污染物Cu在工艺处理设施排放口排放浓度满足西安市环境保护局市要求的在铜电镀工艺处理设施排放口达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）后排入高新区污水管网，最终排入西安市高新区第二污水处理厂”的要求。

    项目通过选用低噪声设备，采取隔声、吸声、减震等降噪措施，经环评预测，项目建成后厂界噪声贡献值昼、夜间仍全部满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）的3类区标准限值。

变更后，项目一般固废和生活垃圾产生量均减少，危险废物产生量增加41506 t/a，由原来的24695t/a增加到66201t/a ，增加约168%，主要是由于原辅材料增加造成。项目产生的危险废物严格遵照相关规定进行贮存和交协议危废处理处置单位处理处置后，对环境产生影响较小。

变更后，厂内原辅材料贮存种类、储量及储存地点细化调整，部分危险化学品储量增加，造成重大危险源增加，原环评只有氯气一个重大危险源，变更后新增氨气、氟化氢气体、过氧化氢溶液三个重大危险源。变更后，项目最大可信事故及类型为有毒有害气体泄漏后，引起的大气环境污染事故，风险值为4.06045×10^-5人/a，风险处于可接受水平。

变更后项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺均无变化。未重新开展公众参与。